Wie funktioniert die Halbleiterdotierung?

[Synopsis]

So,
hoffe die Frage ist nicht zu spezifisch, bin aber zuversichtlich.
Also, wie wir ja alle wissen, haben Halbleiter neben der EIgenleitung auch noch die St?rstellenleitung, die sie durch Dotierung (p- oder n-)
"eingepflanzt bekommen". 
Jetzt interessiert mich mal, wie das technisch gemacht wird.
Es m?ssen ja nur minimalste Mengen von Atomen von 3- bzw. 5-wertigen Elementen "eingepflanzt" werden.
Doch wie kriegt man in der Technik diese paar Atome auf die Wafer?
Also, wenn wir hier jemand haben oder einer nen Link findet (habe keinen gefunden) ......
Vielen Dank an euch 1002 

[@meiseAC]

Sorry ich bin derzeit ein wenig im Stress (Rechnerumbau sowie Geburtstag meiner Tochter )
hier schon mal vorab :

http://olli.informatik.uni-oldenburg.de/weTEiS/weteis/halbleiter.htm

[Synopsis]

Vielen Dank. 
F?r ne Ameise echt ne geballte Kompetenz. 
Gru

[@meiseAC]

Ja, hat eine Menge Gehirnschmalz gekostet den Link zu erstellen.?Hab lange daran gebastelt, deshalb die sp?te Antwort.